Technische Universität Ilmenau, Fachgebiet Mikromechanik

Alternative Names

FG (Abkürzung); (Fachgebiet ); Technische Universität Ilmenau. Fakultät für Maschinenbau, Fachgebiet Mikromechanik; Technische Universität Ilmenau. Fakultät für Maschinenbau. Institut für Mikrosystemtechnik, Mechatronik und Mechanik, Fachgebiet Mikromechanik; Technische Universität Ilmenau. Institut für Mikro- und Nanotechnologien MacroNano, Fachgebiet Mikromechanik; Technische Universität Ilmenau. Institut für Mikrosystemtechnik, Mechatronik und Mechanik, Fachgebiet Mikromechanik; Technische Universität Ilmenau. Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien, Fachgebiet Mikromechanik (02.10.2000 -); (Gründungsfachgebiet); TU Ilmenau, Fak. MB, Institut f. Mikrosystemtechnik, Mechatronik u. Mechanik, FG Mikromechanik (1993 - 30.09.2002); TU Ilmenau, FG Mikromechanik; TU Ilmenau, FI f. Mikro- u. Nanotechnologien, FG Mikromechanik (02.10.2000 (ZMN) - 30.09.2002)

Place of activity

Deutschland (XA-DE)

Ilmenau (Thüringen)

Thüringen (XA-DE-TH)

date of activity

XX.XX.1993 - 30.09.2002

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