KUGLER GmbH
Technische Universität Ilmenau
Technische Universität Ilmenau, Fachgebiet Technische Optik
Technische Universität Ilmenau. Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien
12
- Inbetriebnahme einer weltweit einzigartigen Anlage zur Ultrapräzisionsbearbeitung mikrooptischer Bauelemente und hybrider Mikrosysteme, Typ Microgantry® nano4x