Zeike Norbert Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gGmbH (IMMS) Ehrenbergstr. 29 (Ernst-Abbe-Zentrum) 98693 Ilmenau 03677-69-5563 03677-69-5515 imms@imms.de Institut für Mikroelektronik- und Mechatronik-Systeme gGmbH (IMMS), (2009-) Ilmenau Dipl.-Ing. 2009-02-13T11:41:50.734Z 2010-08-18T11:59:17.914Z