Konzeption und Entstehung

Technologische Ausrüstung

Wissenschaftliches Profil

Behnisch Architekten (Stuttgart)

Bundesregierung (Berlin)

Clean Room Consulting GmbH Freiburg (Freiburg)

Freistaat Thüringen, Thüringer Landesregierung (Erfurt)

Technische Universität Ilmenau (Ilmenau)

Thüringer Finanzministerium, Finanzminister/-in (Erfurt)

Thüringer Ministerium für Wissenschaft, Forschung und Kunst (TMWFK), Minister/-in (Erfurt)

TU Ilmenau, Fak. EI, FI für Mikro- und Nanotechnologien (IMN), FG Festkörperelektronik (Ilmenau)

TU Ilmenau, Fak. EI, FI für Mikro- und Nanotechnologien (IMN), FG Konstruktion und Technologie der Elektronik (Ilmenau)

TU Ilmenau, Fak. EI, FI für Mikro- und Nanotechnologien (IMN), FG Mikroperipherik (Ilmenau)

TU Ilmenau, Fak. EI, FI für Mikro- und Nanotechnologien (IMN), FG Nanotechnologie (Ilmenau)

TU Ilmenau, Fak. EI, FI für Mikro- und Nanotechnologien (IMN), FG Werkstoffe der Elektrotechnik (Ilmenau)

TU Ilmenau, Fak. MB, FI für Mikro- und Nanotechnologien (IMN), FG Mikrosystemtechnik (Ilmenau)

TU Ilmenau, Fak. MB, FI für Mikro- und Nanotechnologien (IMN), FG Prozessmesstechnik (Ilmenau)

TU Ilmenau, Fak. MB, FI für Mikro- und Nanotechnologien (IMN), FG Werkstofftechnik (Ilmenau)

TU Ilmenau, Fak. MN, FI für Mikro- und Nanotechnologien (IMN), FG Technische Physik I (Ilmenau)

TU Ilmenau, Fak. MN, Institut für Physik, FG Technische Physik I (Ilmenau)

TU Ilmenau, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik, Dekan/-in (Ilmenau)

TU Ilmenau, Rektorat, Rektor/-in (Ilmenau)

TU Ilmenau, Senat (Ilmenau)

TU Ilmenau, Sonderforschungsbereich 622 "Nanopositionier- und Nanomessmaschinen" (Ilmenau)

TU Ilmenau, Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien (ZMN), [2004-2008 Zentrum für Innovationskompetenz (ZIK)] (Ilmenau)

Wissenschaftsrat (Köln)

Doll, Theodor (- Institut für Mikrotechnik Mainz, Geschäftsführer (2004-) - TU Ilmenau, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik, Institut für Festkörperelektronik, FG Festkörperelektronik, Fachgebietsleiter (2000-2004) - TU Ilmenau, Fakultätsübergreifendes Institut für Mikro- und Nanotechnologien (IMN), FG Festkörperelektronik, Fachgebietsleiter (2002-2004) - TU Ilmenau, Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien (ZMN), Direktor (-01/2004))

Kern, Heinrich (1950-09-22, - TU Ilmenau, Fakultät für Maschinenbau, FG Metallische Werkstoffe und Verbundwerkstoffe, Fachgebietsleiter [(2006-),(2009 beurlaubt)] - TU Ilmenau, Fakultät für Maschinenbau, Fakultätsübergreifendes Institut für Werkstofftechnik, FG Metallische Werkstoffe und Verbundstoffe, Institutsleiter (2002-2008), Fachgebietsleiter (2002-2008) - TU Ilmenau, Fakultät für Maschinenbau, Fakultätsübergreifendes Institut für Werkstofftechnik, FG Werkstofftechnik, Institutsleiter (2000-2002), Fachgebietsleiter (2000-2002) - TU Ilmenau, Fakultät für Maschinenbau, Interfakultatives Institut für Werkstofftechnik, FG Werkstofftechnik, Institutsleiter (1998-2000), Fachgebietsleiter (1998-2000) - TU Ilmenau, Fakultät für Maschinenbau, Institut für Werkstofftechnik, FG Werkstofftechnik, Fachgebietsleiter (1996-1998) - Donau Universität Krems, Rektor (2007-) - TU Ilmenau, Rektor (2000-15.06.2004) - Thüringer Hochschulkonferenz, Vorsitzender (2002) - B! Burschenschaft "Baltia-Gotia" Ilmenau-Köln zu Ilmenau, Ehrenmitglied - TU Ilmenau, Mitglied im Konzil (2003-2005))

Röhner, Renate (- TU Ilmenau, Zentrum für Mikro- und Nanotechnologien (ZMN), kfm. Sachbearbeitung - TU Ilmenau, Dezernat Gebäude und Technik)

Schäfer, Jürgen A. (1944-09-20, - TU Ilmenau, Fakultät für Mathematik und Naturwissenschaften, Institut für Physik, FG Technische Physik I, Fachgebietsleiter (1995-) - TU Ilmenau, Fak. MN, FI für Mikro- und Nanotechnologien (IMN), FG Technische Physik I, Fachgebietsleiter (2002-))

Schipanski, Dagmar (1943-09-03, - Thüringer Landtag, Präsidentin (2004-) - Kultusministerkonferenz, Präsidentin (2002-2004) - Thüringer Ministerium für Wissenschaft, Forschung und Kunst, Ministerin (1999-2004) - Wissenschaftsrat der Bundesrepublik Deutschland, Vorsitzende (1996-1998) - TU Ilmenau, Rektorat, Rektorin (1995-1996) - TU Ilmenau, Senat, Vorsitzende (1996) - TU Ilmenau, Mitglied im Konzil (1995-1997) - TU Ilmenau, Rektorat, Prorektorin für Bildung (1994) - TU Ilmenau, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik Ilmenau, Dekanin (1992-1993) - TH Ilmenau, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik Ilmenau, Dekanin (1990-1992) - Projektbeirat Technologie Region Ilmenau)

Schipanski, Dagmar (1943-09-03, - Thüringer Landtag, Präsidentin (2004-) - Kultusministerkonferenz, Präsidentin (2002-2004) - Thüringer Ministerium für Wissenschaft, Forschung und Kunst, Ministerin (1999-2004) - Wissenschaftsrat der Bundesrepublik Deutschland, Vorsitzende (1996-1998) - TU Ilmenau, Rektorat, Rektorin (1995-1996) - TU Ilmenau, Senat, Vorsitzende (1996) - TU Ilmenau, Mitglied im Konzil (1995-1997) - TU Ilmenau, Rektorat, Prorektorin für Bildung (1994) - TU Ilmenau, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik Ilmenau, Dekanin (1992-1993) - TH Ilmenau, Fakultät für Elektrotechnik und Informationstechnik Ilmenau, Dekanin (1990-1992) - Projektbeirat Technologie Region Ilmenau)

Trautvetter, Andreas (1955-09-21, - Thüringer Minister für Bau und Verkehr (07/2004-05/2008) - Thüringer Innenminister (11/2002—07/2004) - Thüringer Finanzminister (11/1994—11/2002) - Thüringer Minister der Staatskanzlei (1992-1994) - Mitglied des Thüringer Landtages (10/1990-))

01-02

- 27.03.2002 Inbetriebnahme ZMN